- Автооборудование
- Весовое и подъемное оборудование
- Газоаналитическое оборудование
- Геодезическое оборудование
- Динамометры
- Измерители влажности
- Инструмент
- КИПиА
- Контроль воздуха
- Контроль параметров освещения
- Лабораторное оборудование
- Медицина
- Метеорологическое оборудование
- Микроскопы
- Навигационное оборудование
- Неразрушающий контроль
- Оборудование контроля нефтепродуктов
- Охрана и безопасность
- Паяльное оборудование
- Подшипники и оборудование для них
- Промышленная мебель
- Промышленное оборудование
- Радиационный контроль
- Радиоизмерительное оборудование
- Радиосвязь
- Сварочное оборудование
- Сельхозоборудование
- Спектральный анализ
- Телекоммуникационное и IT-оборудование
- Услуги
- Электроизмерительное оборудование
Перейти к контенту 
Эффективность очистки
Технические характеристики
Размеры
Фильтр для очистки газов МКФ-40
Группа Компаний ПроПриборы официальный дилер компании Центротех, Россия
Тех.консультация
Обратный звонок
Фильтр для сверхтонкой очистки газов Центротех МКФ-40. Металлокерамические
фильтры (МКФ) не разборные, предназначены для сверхтонкого фильтрования воздуха,
азота, водорода, кислорода, аргона, гелия и других газов, химически инертных к
материалам корпуса и фильтрующего элемента. Для фильтрации газов, применяемых
при изготовлении интегральных схем, кроме фосфина (РН), окиси углерода...
Перейти к полному описанию >Фильтр для сверхтонкой очистки газов Центротех МКФ-40. Металлокерамические фильтры (МКФ) не разборные, предназначены для сверхтонкого фильтрования воздуха, азота, водорода, кислорода, аргона, гелия и других газов, химически инертных к материалам корпуса и фильтрующего элемента. Для фильтрации газов, применяемых при изготовлении интегральных схем, кроме фосфина (РН), окиси углерода (СО) и озона (О). Класс фильтрования U 16.
Рекомендованы к использованию в производстве интегральных схем для абсолютного удаления из газов частиц размером не менее 0,01 мкм.
| Обработка внутренних поверхностей корпуса | Электрохимическое полирование |
| Подготовка к работе | Подготовка к работе и испытаниям в чистых помещениях класса 100 |
| Упаковка | Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом аргоном или азотом |
| Условия эксплуатации | Температура окружающей среды от +5 до +35 °С. Пространственная ориентация – произвольная |
| Рекомендуемая периодичность замены | Два года при предварительном фильтровании газа от частиц размером более 2 мкм |
| Наименование фильтра | Рекомендуемый расход | Эффективность очистки |
| МКФ-10 | до 3 нм³/ч (50 нл/мин) | Не менее 99,99999 % для частиц размером не менее 0,01 мкм |
| МКФ-40 | От до 3 нм³/ч (50 нл/мин) до 9 нм³/ч (150 нл/мин) | |
| МКФ-140 | От до 9 нм³/ч (150 нл/мин) до 20 нм³/ч (330 нл/мин) | |
| МКФ-280 | От до 20 нм³/ч (330 нл/мин) до 40 нм³/ч (660 нл/мин) |
| Параметры | МКФ-10 | МКФ-40 | МКФ-140 | МКФ-280 |
| Параметры фильтруемого газа - давление на входе фильтра - температура - относительная влажность | Не более 1,0 МПа (10 кгс/см²) От +5 до +150 °С Не более 80 % | |||
| Перепад давления на фильтре при расходе газа | 0,25 м³/ч | 1,0 м³/ч | 5,0 м³/ч | 10,0 м³/ч |
| Прочность к воздействию перепада давлений в прямом и обратном направлении | До 0,6 МПа (6 кгс/см²) | |||
| Применяемые материалы - фильтрующий элемент - корпус | -никель -нержавеющая сталь | |||
| Локальная негерметичность корпуса | Не более 1*10^-3 л*мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (1,00±0,05) МПа [(10±0,5) кгс/см²] и температуре (25±10) °С | |||
| Площадь фильтрующей поверхности | 10 см² | 40 см² | 140 см² | 280 см² |
| Обозначение | D, мм | D1, мм | S, мм | D2, мм | n |
| еК2.966.731 | Ø6 | Ø9,4 | 17 | М 14ˣ1,5 | - |
| -01 | Ø6 | Ø9,4 | 17 | 9/16‟ | 18 ниток на 1‟ |
| -02 | Ø9 | Ø14 | 19 | М 18ˣ1,5 | - |
| -03 | Ø10 | Ø17,3 | 24 | М 22ˣ1,5 | 14 ниток на 1‟ |
| -04 | Ø10 | Ø17,3 | 24 | 7/8‟ | - |
| еК2.966.733 | Ø6 | Ø8 | 17 | М 16ˣ1,5 | - |
| -01 | Ø8 | Ø11 | 22 | М 20ˣ1,5 | - |
- Фильтр
- Руководство по эксплуатации
- Гарантийный талон
- Упаковка