Нано скретч-тестер Anton Paar NST3. Разработан для оценки адгезии, хрупкости, деформации, отслаивания и износостойкости в тонких пленках и покрытиях с типичной толщиной менее 1000 нм.
Нано-скретч-тестер может использоваться для анализа органических и неорганических веществ; мягких и твердых покрытий. Примерами могут служить многослойные покрытия PVD, CVD, PECVD, фоторезист, краски, лаки и многие другие типы пленок, покрывающих оптические приложения, микроэлектронику, защитные, декоративные и другие типы приложений. Подложки могут быть мягкими или твердыми, включая металлические сплавы, полупроводники, стекло и органические материалы.
Метод реализует контролируемое царапание алмазным индентором на выбранном участке образца/изделия при заданном режиме нагрузки и длине царапины. Наконечник индентора (обычно алмаз, сапфир, карбид вольфрама) перемещается по поверхности образца с постоянной, возрастающей или прогрессивной нагрузкой. При определенной критической нагрузке покрытие начнет трескаться, разрушаться и отслаиваться. Критические нагрузки очень точно регистрируются акустическим сенсором (MST и RST) закрепленном на кронштейне царапающего индентора, одновременно их можно визуально зафиксировать посредством оптического микроскопа.
Информация о поведении образца одновременно снимается с датчиков
- Глубины проникновения по оси Y (мкм)
- Силы трения (Н)
- Перемещения по Х (скорость (мм/мин), длина царапания (мм))
- Акустической эмиссии
- Прилагаемой нагрузки (Н)
Особенности и преимущества
- Запатентованная двухконсольная балка в комбинации с пьезоэлектрическим актуатором
- Царапина проводится алмазным индентором конической формы, что исключает погрешности, связанные с влиянием ориентации граней индентора, например, Берковича
- Система активной обратной связи управления нагрузкой позволяет проводить царапание на неплоских поверхностях (сверла, линзы и др.)
- Измерительное царапание с режимом предварительного сканирования для коррекции неровностей поверхности
- Высокоточное профилирование
- Режим «Панорама» в цифровой форме «склеивает» кадры частей царапины друг с другом и синхронизирует с графиком скретч-теста
- Режим «Мультифокус» — режим многократного фотографирования с различной глубиной резкости для получения изображение в резкости по всей глубине
- Запатентованное измерение истинной глубины пенетрации для изучения упругого восстановления
- Измерение глубины царапины с коррекцией пред- и пост-сканирования
- Высококачественные оптические изображения (оптический видео-микроскоп с барабаном на 4 позиции)
- Проведение классического измерения твёрдости с измерением геометрии отпечатка индентора
- Точное тестирование и анализ износа
- Совместим со стандартами ISO и ASTM
Области применения
- Образование/исследования
- Электроника
- Наука о материалах/нанотехнологии
- Энергетика