Разрешение | 0,1 мкм |
ЕO,MPE(1) | (2,5+0,35L/100) мкм (2) (3,6+0,58L/100) мкм (3) |
PFTU,MPE | 2,5 мкм |
Скорость привода | 866 мм/с |
1 - В соответствии с ISO 10360-2:2010 при использовании датчика ТР7М и щупа Ø 4 x 50 мм
L = измеряемая длина (мм)
2 - Для температурного диапазона 19°С - 21°С
3 - Для температурного диапазона 5°С - 35°С
Температурный диапазон | 5°С - 35°С |
Изменение температуры | за час | 2.0 К |
за 24 часа | 10.0 К |
Температурный градиент | вертикальный | 1.0 К/м |
горизонтальный | 1.0 К/м |
№ | Модель | Диапазон [мм] |
360-224 | MACH-V9106 | 900x1000x600 |