Программное обеспечение Инфраспек SemiSpec.
Определение междуузельного кислорода (SEMI MF1188), углерода замещения (SEMI MF1391), толщины эпитаксиального слоя (SEMI MF95), радиальной неоднородности междуузельного кислорода (SEMI MF951), концентрации бора и фосфора в БФСС в кремниевых пластинах и структурах, толщины эпитаксиального слоя в структурах КНС по ИК спектрам.
Базовое и специализированное программное обеспечение работает в среде Windows XP, Windows Vista, Windows7 и обеспечивает получение и анализ спектров, тестирование спектрометра, работу со спектральной базой данных. Широкий набор операций предназначен для обработки, анализа и отображения спектров.
Разработаны программы для решения прикладных задач. Многокомпонентный количественный анализ, факторный анализ, идентификация спектров по заданной библиотеке и др.