Приставка для пластин кремния Инфраспек

Приставка Инфраспек для пластин кремния.

Приставки представляют собой дополнительные модули, которые устанавливаются в кюветное отделение ИК фурье-спектрометра ФСМ, изменяя его оптическую схему. Использование оптических приставок расширяет аналитические возможности спектрометра.

Приставки предназначены для контроля параметров полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм в режиме пропускания или отражения. Параметры пластин контролируются высокочувствительным бесконтактным методом в заданных оператором точках. В качестве держателей пластин в приставке используются съемные крепления-кольца, в которых пластины фиксируются с помощью дюралевых зажимов, не повреждающих пластину.

Измерения проводятся в ручном режиме. Часть приставки, на которой закреплена пластина, может двигаться относительно неподвижного основания, позволяя выбирать на образце точки для исследования. Пластину можно вращать вокруг оси и перемещать плоско-параллельно. Для контроля этого перемещения обе приставки снабжены шкалами, отградуированными соответственно в градусах и в мм. Для получения и обработки данных используется специализированная программа SemiSpec.

• Концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах (5×10¹⁵–2×10¹⁸) ±5×10¹⁵ см^-3 (SEMI MF1188)
• Концентрация углерода замещения (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах (10¹⁶–5×10¹⁷) ±10¹⁶ см^-3 (SEMI MF1391)
• Радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах (SEMI MF951)
• Толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах (0,5–10,0) ±0,1 мкм, (10–200) ±1 % мкм (SEMI MF95)
• Толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС в пределах (0,1–10,0) ±1 % мкм
• Концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах (1–10) ±0,2 %