Система тестирования Keithley S540

Система параметрического тестирования Keithley S540.

Для разработки и производства современных аналоговых и силовых полупроводниковых приборов, включая приборы на основе GaN и SiC, требуется параметрическое тестирование, которое существенно повышает производительность измерений, поддерживает широкий спектр тестируемых устройств и сводит к минимуму стоимость тестирования.

Компания Keithley уже больше 40 лет успешно решает эти и другие важные задачи в таких критически важных секторах, как интеграция процессов, мониторинг систем управления процессами, сортировка кристаллов на производственных линиях (например, приёмочные испытания пластин или тестирование с использованием эталонных кристаллов), а также надёжность устройств.

Система параметрического тестирования 540 — это полностью автоматизированная система с 48 контактами для тестирования силовых полупроводниковых устройств и структур на уровне пластины напряжением до 3 кВ.

Оптимизированная для использования с современными материалами на основе полупроводниковых соединений, включая карбид кремния (SiC) и нитрид галлия (GaN), полностью интегрированная система S540 позволяет выполнять все высоковольтные, низковольтные измерения, а также измерения ёмкости в одно касание пробника.

Особенности и преимущества

• Автоматическое проведение всех параметрических тестов на уровне пластины с использованием до 48 контактов, в том числе измерений высокого напряжения пробоя, емкости и низковольтных измерений в одно касание пробника без замены кабелей или инфраструктуры зондовой платы
• Проведение измерений емкости транзистора (Ciss, Coss и Crss) до 3 кВ без изменения конфигурации контрольных контактов вручную
• Обеспечение эффективности измерений низкого уровня в высокоскоростной, многоконтактной, полностью автоматизированной тестовой среде
• Системное программное обеспечение Keithley Test Environment (KTE) на базе Linux обеспечивает удобную разработку тестов и быструю их реализацию
• Идеально подходит для полностью или наполовину автоматизированных приложений, применяемых в интеграции процессов, мониторинге технологических процессов и промышленной сортировке кристаллов
• Снижение стоимости владения за счет минимизации времени тестирования, времени настройки для испытания и занимаемой площади при обеспечении производительности измерений лабораторного класса