Установка плазменной обработки Diener Electronic Zepto

Установка плазменной обработки Diener Electronic Zepto предназначена для плазмохимической обработки небольших образцов в R&D-лабораториях и на опытных производствах. С помощью бюджетных малогабаритных установок можно проводить все основные виды плазменной обработки при минимальных затратах. Различные варианты материалов камеры и типов генераторов позволяют получить конфигурацию, идеально подходящую для конкретного применения.

Установки Zepto представляют собой компактный настольный металлический корпус, в котором расположены: вакуумная камера, выполненная из боросиликатного стекла или кварца; ВЧ-генератор 40 кГц или 13,56 МГц; газовая арматура и контроллеры. Вакуумная камера закрывается быстросъемной крышкой. Управление осуществляется аналоговыми переключателями или при помощи сенсорного дисплея. Также возможен вариант управления посредством внешнего компьютера. Основными преимуществами установок серии Zepto являются низкая стоимость и малые сроки изготовления.

Области применения

• Керамика 60x48 мм: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР
  
• Полупроводниковые пластины до 3″: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР
• R&D и исследования