Установка плазменной обработки Diener Electronic Nano

Код товара: 114406
Бренд: Diener Electronic
Страна: Германия
Diener Electronic
Группа Компаний ПРОПРИБОРЫ поставляет продукцию Diener Electronic, Германия
Установка плазменной обработки Diener Electronic Nano предназначена для плазмохимической обработки образцов средних размеров и групповой обработки изделий в R&D лабораториях, на опытных и мелкосерийных производствах. В бюджетных малогабаритных установках можно проводить все основные виды плазменной обработки при минимальных затратах. Различные варианты материалов камеры и типов генераторов позволяют...
Перейти к полному описанию >
В наличии

Цена по запросу

Добровольная сертификация
Ваш регион: Москва
Срок поставки: от 5-ти рабочих дней
Самовывоз: ул. Дорожная, д. 29, ворота 19
Бесплатная доставка возможна по согласованию с менеджерами ваших заказов

Установка плазменной обработки Diener Electronic Nano предназначена для плазмохимической обработки образцов средних размеров и групповой обработки изделий в R&D лабораториях, на опытных и мелкосерийных производствах. В бюджетных малогабаритных установках можно проводить все основные виды плазменной обработки при минимальных затратах. Различные варианты материалов камеры и типов генераторов позволяют получить конфигурацию идеально подходящую под конкретное применение.

Установки серии Nano представляют собой модификацию серии Pico с камерой увеличенного объема до 36 л, более высокой мощностью генератора и возможностью использования лодочек для групповой обработки полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм. Установки серии Nano могут быть изготовлены в напольном варианте корпуса с возможностью установки через стену чистого производственного помещения. Основными преимуществами установок серии Nano являются большое количество вариантов конфигурации, возможность групповой обработки полупроводниковых пластин большого диаметра, наличие корпуса для размещения установки через стену ЧПП высокого класса чистоты.

Области применения

  • Керамика 60x48 мм (групповая обработка): очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР
  • Полупроводниковые пластины до 8″ (групповая обработка): очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР
  • Печатные платы малого размера: очистка отверстий и поверхности перед монтажом
  • Обработка объемных образцов: электроника, приборостроение, медицина и др.
  • R&D и исследования

Камера

Круглая камера из нержавеющей стали с крышкой Ø267 мм, глубина 420 или 600 мм

Прямоугольная камера из нержавеющей стали с дверцей 240x240(В)x420 мм

Круглая камера из алюминия с крышкой или дверцей Ø240 мм, глубина 400 или 600 мм

Круглая кварцевая камера с крышкой или дверцей Ø240 мм, глубина 400 или 600 мм

Круглая камера из боросиликатного стекла с крышкой или дверцей Ø240 мм, глубина 400 или 600 мм

Объем камеры18-36 л
Газовая системаИгольчатые клапаны с ротаметрами или цифровые РРГ
Генератор плазмы

40/80/100 кГц: 100, 200, 500 и 1000 Вт

13,56 МГц: 50, 100 и 300 Вт

2,45 ГГц: 100, 300 и 600 Вт

Электрод

Одно- или многоуровневый электрод

РИТ-электрод

Управление

Ручное

Автоматическое (сенсорный дисплей)

Автоматическое (ПК)

Датчик давления

Пирани

Баратрон (для работы с коррозионными газами и РИТ-травления)

Загрузка образцов

Поддон из алюминия

Поддон из нержавеющей стали

Поддон из боросиликатного стекла

Поддон из кварца

Водоохлаждаемый поддон

Лодочка из кварца для групповой обработки пластин

Барабан для порошков

Барабан для объемных образцов

Вакуумный насосРазличные варианты под требования заказчика
Габариты (ШxВxГ)580x650x600 мм
Доступны различные варианты корпусов
  • Установка плазменной обработки
  • Руководство по эксплуатации
  • Гарантийный талон
  • Упаковка